Tehnologija mikroobdelovanja je zelo fleksibilen proces, ki lahko proizvede mikro komponente kompleksnih oblik. Poleg tega se lahko uporablja za široko paleto materialov. Zaradi svoje prilagodljivosti je posebej primeren za hitro delovanje od ideje do prototipa, izdelavo kompleksnih 3D struktur ter iterativno načrtovanje in razvoj izdelkov,
1. Tehnologija fizične mikroobdelave
Obdelava z laserskim žarkom: proces obdelave, ki uporablja toplotno energijo, ki jo vodi laserski žarek, za odstranjevanje materialov s kovinskih ali nekovinskih površin. Primernejša je za krhke materiale z nizko prevodnostjo, vendar se lahko uporablja za večino materialov.
Obdelava z ionskim žarkom: pomembna nekonvencionalna proizvodna tehnologija za mikro/nano proizvodnjo. Uporablja pospešen ionski tok v vakuumski komori za odstranjevanje, dodajanje ali spreminjanje atomov na površini predmeta.
2. Kemijska mikroobdelovalna tehnologija
Reaktivno ionsko jedkanje (RIE): plazemski proces, pri katerem se snovi vzbujajo z RF razelektritvijo za jedkanje substratov ali filmov v nizkonapetostni komori. Gre za sinergistični proces kemičnih učinkovin in visokoenergetskega ionskega obstreljevanja.
Elektrokemična obdelava (ECM): metoda odstranjevanja kovin z elektrokemičnimi postopki. Običajno se uporablja za obsežno proizvodnjo in obdelavo izjemno trdih materialov ali materialov, ki jih je težko obdelati s tradicionalnimi metodami. Njegova uporaba je omejena na prevodne materiale. ECM lahko reže majhne ali nepravilne kote, zapletene konture ali votline v trdih in redkih kovinah.
3. Tehnologija mehanske mikroobdelave
Diamantno struženje: postopek struženja ali strojne obdelave natančnih komponent s stružnico ali izpeljanim strojem, opremljenim z naravnim ali sintetičnim diamantnim svedrom.
Diamantno rezkanje: postopek rezanja, ki ga je mogoče uporabiti za ustvarjanje niza asferičnih leč s krožnim rezanjem z uporabo sferičnega diamantnega orodja.
Natančno brušenje: abrazivna obdelava, ki omogoča strojno obdelavo obdelovanca v fino površinsko obdelavo in zelo majhno toleranco 0.0001".
Poliranje: abrazivna obdelava, poliranje z argonovim ionskim žarkom je dokaj stabilen postopek, ki se uporablja za končno obdelavo ogledal teleskopa in popravljanje preostalih napak pri mehanskem poliranju ali optičnih napravah za struženje diamantov. Postopek MRF je prvi deterministični postopek poliranja. Komercializiran in uporabljen v proizvodnji asferičnih leč, reflektorjev itd.
